創新冷凍空調系統原為Holland Heating團隊-是台灣光電/晶圓/記憶體/封測-等高科技產業公司系統應用外氣空調箱(MAU)設備第一品牌,因業務發展需求於2009年成立創新冷凍空調系統技術服務公司,用專業繼續服務市場,滿足客戶的需求。
在現代奈微米高科技製程技術發展迅速,實驗與研究刻不容緩,對於製程環境污染的關切已由原有的粒狀固體污染物變為氣態分子污染物(Airborne Molecular Contaminants, AMCs),對於已建無塵室常因設備系統功能老舊,無塵室空氣品質無法滿足現階段製程生產與實驗發展需求,然而外氣空調箱(MAU)作為整個無塵室循環系統中空氣品質不可或缺的關鍵部分,承擔著製程生產的重要任務,其影響至為關鍵。讓我們來淺談外氣空調箱(MAU)功能與製程生產重要性。
* 潔淨度控制
Particle為空氣中浮游之微塵粒子,其中有的為細小之纖維渣和砂粒、金屬粉以及人體脫落之皮膚表層、煙霧等種類繁多。正因為 Particle是構成半導體製品發生缺陷降低產品良率的主要原因之一,外氣空調箱(MAU)換氣量體,掌握無塵室內Particle的大小及數量多寡,為設計及管理無塵室所需掌控的要因,無塵室 Particle 的大小及數量我們以潔淨等級表示之。
* 溫度濕度壓力環境控制:
1.無塵室的熱負載來源:Internal load(包括製程及測試設備, 廠務及公用系統, 照明, 人體),
OA load(外氣空調負載), Solar load( 太陽輻射熱負載)..等 。
2.相對溼度的定義:該溫度下空氣中水蒸氣的分壓和該溫度下水蒸氣飽和蒸氣壓的比值。
3.溫度如何控制:由無塵室內的乾盤管 (DCC) 與外氣空調箱(MAU)出風溫度控制。
4.壓力如何控制:由外氣空調箱(MAU)的 FAN 加壓, 以確保室內正壓,並由MAU 之變頻器控制轉速。
5. 外氣空調箱(MAU)空氣的循環量如何控制:由 FFU(Fan Filter Unit) 或 RCU 控制,若增加循環量,潔淨度將提高。
6.溼度如何控制:無塵室內溼度由外氣空調箱(MAU)控制,外氣空調箱(MAU)將外氣的溫度降低達到除濕的目的後,再升溫到一定溫度,若外氣過於乾燥時,則外氣空調箱(MAU)先將空氣加熱,經過加濕系統達到加濕的目的後,再將空氣送出。
* 無機酸鹼(AMC)環境控制:
對於潔淨室或微環境(mini-environment)的空氣清淨度更加嚴格要求,尤其對各類氣態分子污染物(Airborne Molecular Contamination ,AMC)的限制更是嚴密,由於潔淨室系統Class 1000以上多為循環氣流系統(MAU+FFU),其中約85-90%為循環空氣,8-12%為新鮮外氣,外氣空調箱(MAU)水洗加濕器+化學濾網的系統應用便是有效去除各類氣態分子污染物重要技術設備之一。
創新冷凍空調系統公司提供專業外氣空調箱(MAU)設備系統設計及施工服務,可搭配各類系統應用,客製化組成高效率的HVAC系統。透過創新冷凍空調系統公司提供的專業服務和高品質外氣空調箱(MAU)產品,無塵室系統能夠更加穩定地運行,為客戶提供更加節能的運轉環境。
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