Understanding Airborne Molecular Contamination (AMC)

• Definition:  Gaseous or Suspended Molecules Inside a Clean Environment That Have a Negative Impact on Yield

– Documented AMC Process Effects Include: Uncontrolled Doping, Hazing of Optics, Corrosion, T-topping

• SEMI F21-95

– Pioneered Attempts to Standardize AMC Levels in Cleanrooms

– Classifies AMC by Physical-Chemical Behavior

• Acid, Base, Condensable, Dopant

■ Acid：酸性腐蝕性物質

■ Basic：鹼性腐蝕性物質

■ Condensable：在一大氣壓下準點溫度高於室溫之化學物質，易於凝聚於潔淨表面上(水以外)

■ Dopant：化學元素用於注入或摻雜在半導體元件上，用於控制電子元件之電氣特性

■ VOC：高揮發性有機

測試報告

創新冷凍空調系統原為Holland Heating團隊-是台灣光電/晶圓/記憶體/封測-等高科技產業公司系統應用外氣空調箱（MAU）設備第一品牌，因業務發展需求於2009年成立創新冷凍空調系統技術服務公司，透過專業的外氣空調箱（MAU）服務市場，滿足客戶外氣空調箱（MAU）的需求。

關於創新冷凍空調系統｜外氣空調箱（MAU）各項服務：

• 外氣空調箱（MAU）新建專案

• 外氣空調箱（MAU）汰舊重置專案

• 外氣空調箱（MAU）設備維保

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